दबाव सेंसर का उपयोग तरल पदार्थ और गैसों के दबाव को मापने के लिए किया जाता है। सामान्य प्रकारों में एमईएमएस सिलिकॉन पीज़ोरेसिस्टिव प्रेशर सेंसर, एमईएमएस सिलिकॉन रेजोनेंट प्रेशर सेंसर, सिरेमिक कैपेसिटिव प्रेशर सेंसर, मेटल कैपेसिटिव प्रेशर सेंसर, स्पटरड थिन -फिल्म प्रेशर सेंसर और मेटल स्ट्रेन गेज प्रेशर सेंसर शामिल हैं। उनके संचालन परिदृश्य कार्य सिद्धांत के आधार पर भिन्न-भिन्न होते हैं।
एमईएमएस सिलिकॉन पीज़ोरेसिस्टिव प्रेशर सेंसर:यह दबाव सेंसर का सबसे व्यापक रूप से उपयोग किया जाने वाला प्रकार है। इसकी मुख्य माप सीमा 15 केपीए से 100 एमपीए तक होती है, जिसमें विशिष्ट सटीकता 0.05% एफएस से 3% एफएस तक होती है। ऑपरेटिंग तापमान रेंज आम तौर पर -55 डिग्री से 180 डिग्री होती है। क्योंकि यह बड़े पैमाने पर अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं के साथ संगत है, इसलिए यह सस्ता है। तरल माप के लिए, तेल से भरी आइसोलेशन पैकेजिंग की आवश्यकता होती है।
एमईएमएस सिलिकॉन अनुनाद दबाव सेंसर: यह सेंसर एक सरल डिज़ाइन का उपयोग करता है जो दबाव को माइक्रो{0}}बीम की गुंजयमान आवृत्ति में परिवर्तन में परिवर्तित करता है। क्योंकि बीम की आवृत्ति केवल इसकी संरचना और तापमान पर निर्भर करती है, और फ़िल्टरिंग प्रभावों से लाभ उठाती है, यह सेंसर 0.01% एफएस तक की उच्च आउटपुट सटीकता प्राप्त करता है। इसकी मुख्य दबाव माप सीमा 100 kPa से 40 MPa तक होती है, ऑपरेटिंग तापमान सीमा -55 डिग्री से 85 डिग्री तक होती है। जटिल विनिर्माण और उच्च लागत के कारण, यह अर्धचालक प्रसंस्करण और समुद्र की गहराई माप जैसे अत्यधिक उच्च परिशुद्धता की मांग करने वाले अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त है।
सिरेमिक कैपेसिटिव प्रेशर सेंसर:सिरेमिक सामग्री उत्कृष्ट पहनने के प्रतिरोध प्रदान करती है, जो इस सेंसर को रेत-गारा मिश्रण में दबाव मापने के लिए उपयुक्त बनाती है। यह अच्छा संक्षारण प्रतिरोध भी प्रदान करता है, जिससे सल्फ्यूरिक एसिड जैसे संक्षारक तरल पदार्थ का माप संभव हो जाता है। इसके अतिरिक्त, सिरेमिक-आधारित दबाव सेंसर पानी के जमने का सामना कर सकते हैं {{2}एक ऐसी सुविधा जो एमईएमएस सेंसर के साथ प्राप्त नहीं की जा सकती।
मेटल कैपेसिटिव प्रेशर सेंसर:यह सेंसर दबाव-संवेदनशील चल इलेक्ट्रोड के रूप में एक धातु डायाफ्राम का उपयोग करता है, जो एक निश्चित इलेक्ट्रोड के साथ एक संधारित्र बनाता है। जब दबाव डायाफ्राम पर कार्य करता है, तो इलेक्ट्रोड के बीच समाई बदल जाती है, जिससे दबाव-समाई संबंध स्थापित हो जाता है। धातु डायाफ्राम को इन्कोनेल जैसी संक्षारण प्रतिरोधी सामग्री से बनाया जा सकता है, और बहुत कम दबाव (0-1/10/100/1000 टोर) को माप सकता है। नतीजतन, सेमीकंडक्टर उद्योग में वैक्यूम माप और विशेष गैस माप में इसका व्यापक अनुप्रयोग है।
थूक दियाTहिन-फ़िल्मदबाव सेंसर और धातु तनाव गेज दबाव सेंसर:दोनों सेंसर में एक बड़ी धातु की सतह पर लेपित एक बल-संवेदनशील सामग्री होती है, जो उत्पाद को मजबूत और टिकाऊ बनाती है। वे उच्च दबाव रेंज और उच्च विश्वसनीयता की आवश्यकता वाले अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त हैं, जैसे पीले सामान, डीजल इंजन और सुरंग बोरिंग मशीन। इन सेंसरों को पूर्ण दबाव सेंसर में निर्मित करना आसान नहीं है और आमतौर पर 200 एमपीए या उससे अधिक तक की अधिकतम रेंज को कवर कर सकते हैं। ऊपर दी गई पहली छवि एक थूकदार पतली फिल्म सेंसर कोर दिखाती है, जबकि दूसरी छवि एक मेटल स्ट्रेन गेज कोर दिखाती है।
दबाव सेंसर का चयन उसके प्रदर्शन का पूरी तरह से लाभ उठाने के लिए वास्तविक परिचालन स्थितियों पर आधारित होना चाहिए। मिहुई टेक्नोलॉजी विभिन्न सिद्धांतों के आधार पर दबाव सेंसर में माहिर है, जो ग्राहकों को सबसे उपयुक्त समाधान प्रदान करने के लिए पूर्ण डिजाइन, उत्पादन और विनिर्माण क्षमताओं की पेशकश करती है। यदि आप रुचि रखते हैं तो हमसे संपर्क करने के लिए आपका स्वागत है:फ़ोन नंबर: +8618066965135; ईमेल: mihuitec@gmail.com
